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MFS和MFOS结构的C-V特性研究

于军 周文利 曹广军 谢基凡

华中理工大学学报1996,Vol.24Issue(1):P.79-81,3.
华中理工大学学报1996,Vol.24Issue(1):P.79-81,3.

MFS和MFOS结构的C-V特性研究

于军 1周文利 1曹广军 1谢基凡1

作者信息

  • 1. 华中理工大学固体电子学系
  • 折叠

摘要

关键词

场效应晶体管/MFOS结构/C-V特性/铁电薄膜

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

于军,周文利,曹广军,谢基凡..MFS和MFOS结构的C-V特性研究[J].华中理工大学学报,1996,24(1):P.79-81,3.

基金项目

国家863高科技计划资助 ()

华中理工大学学报

OA北大核心

1000-8616

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