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AlN／Al多层膜的红外反射谱研究

徐则川 李义兵

华中理工大学学报1997，Vol.25Issue(3)：93-95,3.
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华中理工大学学报1997，Vol.25Issue(3)：93-95,3.

AlN／Al多层膜的红外反射谱研究

徐则川 1李义兵2

作者信息

  • 1. 华中理工大学固体电子学系
  • 2. 长沙铁道学院
  • 折叠

摘要

关键词

薄膜/多层膜/红外反射谱/氮化铝/铝/光学常数

分类

数理科学

引用本文复制引用

徐则川,李义兵..AlN／Al多层膜的红外反射谱研究[J].华中理工大学学报,1997,25(3):93-95,3.

基金项目

国家高技术研究发展计划资助 （）

华中理工大学学报

OA北大核心

1000-8616

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