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硅基光波导结构与器件

刘育梁 王启明

红外与毫米波学报1996，Vol.15Issue(1)：P.65-71,7.
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红外与毫米波学报1996，Vol.15Issue(1)：P.65-71,7.

硅基光波导结构与器件

刘育梁 1王启明1

作者信息

  • 1. 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室
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摘要

关键词

硅/光波导/工艺/器件

分类

信息技术与安全科学

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刘育梁,王启明..硅基光波导结构与器件[J].红外与毫米波学报,1996,15(1):P.65-71,7.

红外与毫米波学报

OA北大核心CSCD

1001-9014

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