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厚膜压力传感器的研究

潘晓光 汤清华

华中理工大学学报1997,Vol.25Issue(5):82-84,3.
华中理工大学学报1997,Vol.25Issue(5):82-84,3.

厚膜压力传感器的研究

潘晓光 1汤清华1

作者信息

  • 1. 固体电子学系
  • 折叠

摘要

关键词

厚膜/压力传感器/压阻效应

分类

机械制造

引用本文复制引用

潘晓光,汤清华..厚膜压力传感器的研究[J].华中理工大学学报,1997,25(5):82-84,3.

基金项目

华中理工大学校科学基金 ()

华中理工大学学报

OA北大核心

1000-8616

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