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C60薄膜硅衬底过渡层对金刚石薄膜的生成

刘大军

郑州大学学报：自然科学版1997，Vol.29Issue(3)：31-33,3.
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郑州大学学报：自然科学版1997，Vol.29Issue(3)：31-33,3.

C60薄膜硅衬底过渡层对金刚石薄膜的生成

刘大军1

作者信息

  • 1. 河南省基础及应用科学研究所
  • 折叠

摘要

关键词

金刚石薄膜/MPCVD/硅/过渡层/碳60薄膜

分类

数理科学

引用本文复制引用

刘大军..C60薄膜硅衬底过渡层对金刚石薄膜的生成[J].郑州大学学报：自然科学版,1997,29(3):31-33,3.

郑州大学学报：自然科学版

1001-8212

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