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PECVD法氮化硅薄膜的研究

吴大维 范湘军

材料科学与工程1997，Vol.15Issue(1)：46-49,4.
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材料科学与工程1997，Vol.15Issue(1)：46-49,4.

PECVD法氮化硅薄膜的研究

吴大维 1范湘军1

作者信息

  • 1. 武汉大学
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摘要

关键词

PECVD/外延生长/氮化硅/薄膜

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

吴大维,范湘军..PECVD法氮化硅薄膜的研究[J].材料科学与工程,1997,15(1):46-49,4.

材料科学与工程

1004-793X

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