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氧化锌薄膜研究进展

李剑光 叶志镇

材料科学与工程1997，Vol.15Issue(2)：65-66,60,3.
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材料科学与工程1997，Vol.15Issue(2)：65-66,60,3.

氧化锌薄膜研究进展

李剑光 1叶志镇1

作者信息

  • 1. 浙江大学硅材料国家重点实验室
  • 折叠

摘要

关键词

薄膜/磁控溅射/半导体薄膜/氧化锌

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李剑光,叶志镇..氧化锌薄膜研究进展[J].材料科学与工程,1997,15(2):65-66,60,3.

材料科学与工程

1004-793X

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