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半导体器件工作温度的光学干涉测量

李丽华 鲁强

华中理工大学学报1997，Vol.25Issue(6)：27-29,3.
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华中理工大学学报1997，Vol.25Issue(6)：27-29,3.

半导体器件工作温度的光学干涉测量

李丽华 1鲁强1

作者信息

  • 1. 华中理工大学光电子工程系
  • 折叠

摘要

关键词

温度测量/半导体器件/工作温度/光学干涉测量

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李丽华,鲁强..半导体器件工作温度的光学干涉测量[J].华中理工大学学报,1997,25(6):27-29,3.

基金项目

国防预研基金 （）

华中理工大学学报

OA北大核心

1000-8616

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