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多弧离子镀膜机（буиат—6）性能分析和工艺参数研究

谢光荣 胡社军

广东机械学院学报1997，Vol.15Issue(2)：14-20,7.
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广东机械学院学报1997，Vol.15Issue(2)：14-20,7.

多弧离子镀膜机（буиат—6）性能分析和工艺参数研究

谢光荣 1胡社军1

作者信息

  • 1. 广东工业大学材料科学与工程系
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摘要

关键词

多弧离子镀膜机/性能分析/工艺参数

分类

矿业与冶金

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谢光荣,胡社军..多弧离子镀膜机（буиат—6）性能分析和工艺参数研究[J].广东机械学院学报,1997,15(2):14-20,7.

广东机械学院学报

1002-0225

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