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多孔硅微结构及其稳定性研究

刘刚 介晓瑞

华中理工大学学报1997，Vol.25Issue(10)：52-55,4.
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华中理工大学学报1997，Vol.25Issue(10)：52-55,4.

多孔硅微结构及其稳定性研究

刘刚 1介晓瑞1

作者信息

  • 1. 华中理工大学固体电子学系
  • 折叠

摘要

关键词

低温氮吸附/多孔硅/比表面积/微结构/稳定性

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘刚,介晓瑞..多孔硅微结构及其稳定性研究[J].华中理工大学学报,1997,25(10):52-55,4.

基金项目

国家自然科学基金 （）

华中理工大学学报

OA北大核心

1000-8616

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