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对接沟道NMOS结构杂质分布的二维数值模拟

徐维锋 曹广军

华中理工大学学报1997，Vol.25Issue(10)：48-51,4.
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华中理工大学学报1997，Vol.25Issue(10)：48-51,4.

对接沟道NMOS结构杂质分布的二维数值模拟

徐维锋 1曹广军1

作者信息

  • 1. 华中理工大学固体电子学系
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摘要

关键词

BJNMOS/杂质分布/数值模拟/NMOS结构/MOS器件

分类

信息技术与安全科学

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徐维锋,曹广军..对接沟道NMOS结构杂质分布的二维数值模拟[J].华中理工大学学报,1997,25(10):48-51,4.

华中理工大学学报

OA北大核心

1000-8616

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