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上海有色金属
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世界硅材料工业发展概况
世界硅材料工业发展概况
OA
作者:
宋大有
作者单位:
上海有色金属研究所,上海201600
分类:
电子信息工程
中文关键词:
半导体
硅
单晶硅
多晶硅
大直径
刊名:
《上海有色金属》
1997 (2)
页码/页数:
P.74-87,14
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