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世界硅材料工业发展概况

宋大有

上海有色金属1997,Vol.18Issue(2):P.74-87,14.
上海有色金属1997,Vol.18Issue(2):P.74-87,14.

世界硅材料工业发展概况

宋大有1

作者信息

  • 1. 上海有色金属研究所,上海201600
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摘要

关键词

半导体//单晶硅/多晶硅/大直径

分类

信息技术与安全科学

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宋大有..世界硅材料工业发展概况[J].上海有色金属,1997,18(2):P.74-87,14.

上海有色金属

1005-2046

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