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用椭圆偏振光方法研究铬薄膜的氧化过程

成钢 陈庆东

桂林电子工业学院学报1998，Vol.18Issue(3)：53-55,3.
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桂林电子工业学院学报1998，Vol.18Issue(3)：53-55,3.

用椭圆偏振光方法研究铬薄膜的氧化过程

成钢 1陈庆东2

作者信息

  • 1. 桂林电子工业学院基础部
  • 2. 洛阳工学院基础部
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摘要

关键词

椭圆偏振测量/氧化层厚度/铬薄膜

分类

数理科学

引用本文复制引用

成钢,陈庆东..用椭圆偏振光方法研究铬薄膜的氧化过程[J].桂林电子工业学院学报,1998,18(3):53-55,3.

桂林电子工业学院学报

1001-7437

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