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微机械系统中精密弹性微动工作台的研制及其精度 …

李宝明 梁正和

机械科学与技术1998，Vol.17Issue(4)：621-622,632,3.
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机械科学与技术1998，Vol.17Issue(4)：621-622,632,3.

微机械系统中精密弹性微动工作台的研制及其精度 …

李宝明 1梁正和1

作者信息

  • 1. 西安交通大学RPM中心
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摘要

关键词

微机械/微动工作台/精度分析/弹性微动

分类

机械制造

引用本文复制引用

李宝明,梁正和..微机械系统中精密弹性微动工作台的研制及其精度 …[J].机械科学与技术,1998,17(4):621-622,632,3.

机械科学与技术

OA北大核心CSCD

1003-8728

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