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氧氮磷杂质对硅片高温形变的影响

谢书银 李立本

中南工业大学学报1998，Vol.29Issue(1)：58-61,4.
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中南工业大学学报1998，Vol.29Issue(1)：58-61,4.

氧氮磷杂质对硅片高温形变的影响

谢书银 1李立本1

作者信息

  • 1. 中南工业大学应用物理与热能工程系
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摘要

关键词

氧氮磷杂质/硅片/高温形变

分类

信息技术与安全科学

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谢书银,李立本..氧氮磷杂质对硅片高温形变的影响[J].中南工业大学学报,1998,29(1):58-61,4.

基金项目

硅材料国家重点实验室基金 （）

中南工业大学学报

OA北大核心CSCD

1005-9792

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