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聚硅烷—一种新亚微米高分辨光致蚀刻剂

谢茂浓

四川大学学报：自然科学版1998，Vol.35Issue(4)：551-553,3.
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四川大学学报：自然科学版1998，Vol.35Issue(4)：551-553,3.

聚硅烷—一种新亚微米高分辨光致蚀刻剂

谢茂浓1

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摘要

关键词

聚硅烷/准分子激光/亚微米/光致蚀刻剂

分类

信息技术与安全科学

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谢茂浓..聚硅烷—一种新亚微米高分辨光致蚀刻剂[J].四川大学学报：自然科学版,1998,35(4):551-553,3.

四川大学学报：自然科学版

OA北大核心CSCD

0490-6756

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