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面阵硅场发射阵列的离子束刻蚀

张新宇

华中理工大学学报1998，Vol.26Issue(5)：88-90,3.
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华中理工大学学报1998，Vol.26Issue(5)：88-90,3.

面阵硅场发射阵列的离子束刻蚀

张新宇1

作者信息

  • 1. 华中理工大学光电子工程系
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摘要

关键词

场发射/硅微尖阵列/硅微台阵列/离子束刻蚀

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张新宇..面阵硅场发射阵列的离子束刻蚀[J].华中理工大学学报,1998,26(5):88-90,3.

基金项目

国家高技术研究发展计划资助项目 （）

华中理工大学学报

OA北大核心

1000-8616

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