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微机电系统技术──硅基微加工

徐毓尤 徐玉成

电子科技Issue(10)：P.11-11,1.
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电子科技Issue(10)：P.11-11,1.

微机电系统技术──硅基微加工

徐毓尤 1徐玉成1

作者信息

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摘要

关键词

微机电系统/硅基微加工/MEMS

分类

信息技术与安全科学

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徐毓尤,徐玉成..微机电系统技术──硅基微加工[J].电子科技,1999,(10):P.11-11,1.

电子科技

1007-7820

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