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非接触式表面微观形貌光学测量技术的进展

包学诚 周志尧

现代科学仪器Issue(6)：P.8-10,3.
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现代科学仪器Issue(6)：P.8-10,3.

非接触式表面微观形貌光学测量技术的进展

包学诚 1周志尧2

作者信息

  • 1. 上海交通大学,上海200030
  • 2. 中国科学院上海光机所,上海201800
  • 折叠

摘要

关键词

干涉测量/表面形貌/表面轮廓/光学测量/双焦干涉

分类

机械制造

引用本文复制引用

包学诚,周志尧..非接触式表面微观形貌光学测量技术的进展[J].现代科学仪器,1999,(6):P.8-10,3.

现代科学仪器

1003-8892

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