中国机械工程2002，Vol.13Issue(1)：P.32-35,4.
光造型技术在微机电系统中的应用研究
摘要
关键词
光造型技术/微机电系统/快速成形/微细加工技术分类
机械制造引用本文复制引用
杨继全,侯丽雅,章维一,张庆..光造型技术在微机电系统中的应用研究[J].中国机械工程,2002,13(1):P.32-35,4.基金项目
国家"8 63"高技术研究发展计划资助项目 ( 863-5 11- 960 8- 0 0 7 （）
863- 5 11- 943- 0 16) （）
四开科技发展基金资助项目 （）
