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C轴择优取向ZnO薄膜的微区压电特性分析

程和 李燕 邓宏

四川大学学报：自然科学版Issue(S1)：P.377-380,4.
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四川大学学报：自然科学版Issue(S1)：P.377-380,4.

C轴择优取向ZnO薄膜的微区压电特性分析

程和 1李燕 1邓宏1

作者信息

  • 1. 电子科技大学微电子与固体电子学院,成都610054
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摘要

关键词

ZnO薄膜/择优取向/微区压电特性/极性

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

程和,李燕,邓宏..C轴择优取向ZnO薄膜的微区压电特性分析[J].四川大学学报：自然科学版,2005,(S1):P.377-380,4.

四川大学学报：自然科学版

OA北大核心CSCD

0490-6756

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