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集成电路硅片上缺陷空间分布的分形表征

郝跃 朱春翔 刘志镜

电子学报Issue(8)：10,1.
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电子学报Issue(8)：10,1.

集成电路硅片上缺陷空间分布的分形表征

郝跃 1朱春翔 1刘志镜1

作者信息

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摘要

关键词

缺陷空间分布/成团效应/集成电路/硅片

分类

信息技术与安全科学

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郝跃,朱春翔,刘志镜..集成电路硅片上缺陷空间分布的分形表征[J].电子学报,1996,(8):10,1.

基金项目

863高技术计划资助 （）

电子学报

OA北大核心CSCD

0372-2112

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