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基于MEMS技术的温湿传感器模拟和设计

方震 赵湛 武宇 陈超 张博军

测控技术2004，Vol.23Issue(3)：10-11,14,3.
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测控技术2004，Vol.23Issue(3)：10-11,14,3.

基于MEMS技术的温湿传感器模拟和设计

Simulation and Design of MEMS-Based Integrated Temperature and Humidity Sensor

方震 1赵湛 1武宇 1陈超 1张博军1

作者信息

  • 1. 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080
  • 折叠

摘要

关键词

有限元分析方法/计算机模拟/MEMS技术/湿度传感器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

方震,赵湛,武宇,陈超,张博军..基于MEMS技术的温湿传感器模拟和设计[J].测控技术,2004,23(3):10-11,14,3.

基金项目

中国科学院微系统创新项目资助 （）

测控技术

OACSCDCSTPCD

1000-8829

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