计量学报2002，Vol.23Issue(2)：101-105,5.
光栅纳米测量中的系统误差修正技术研究
Research on Systematic Error Correction in Grating-Based Nanometrology
摘要
关键词
光栅/纳米测量/系统误差/细分误差/误差修正分类
机械制造引用本文复制引用
余文新,胡小唐,邹自强..光栅纳米测量中的系统误差修正技术研究[J].计量学报,2002,23(2):101-105,5.基金项目
国家教委博士点基金(98005635) （98005635）
