可再生能源Issue(6)：10-12,3.
低温制备硅薄膜的晶粒尺寸研究
Study on grain size of Silicon thin films fabricated at low temperature
摘要
关键词
硅薄膜/晶粒尺寸/再结晶分类
数理科学引用本文复制引用
张丽伟,张松青,卢景霄,杨仕娥,文书堂,杨根,郭学军,李瑞..低温制备硅薄膜的晶粒尺寸研究[J].可再生能源,2006,(6):10-12,3.基金项目
国家重点基础研究973计划(编号:2006CB202601). （编号:2006CB202601）
