计量学报2007,Vol.28Issue(1):10-13,51,5.
显微栅线投影相关法及其在三维形貌测试中的应用
Measurement of 3-D Profile Using Micro Fringe Projection Correlation Method
摘要
关键词
计量学/显微栅线投影相关法/三维形貌/薄膜挠度分类
通用工业技术引用本文复制引用
孙伟,董萼良,杨福俊,何芳,秦明,何小元..显微栅线投影相关法及其在三维形貌测试中的应用[J].计量学报,2007,28(1):10-13,51,5.基金项目
国家自然科学基金(10472026) (10472026)