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显微栅线投影相关法及其在三维形貌测试中的应用

孙伟 董萼良 杨福俊 何芳 秦明 何小元

计量学报2007,Vol.28Issue(1):10-13,51,5.
计量学报2007,Vol.28Issue(1):10-13,51,5.

显微栅线投影相关法及其在三维形貌测试中的应用

Measurement of 3-D Profile Using Micro Fringe Projection Correlation Method

孙伟 1董萼良 1杨福俊 1何芳 1秦明 1何小元1

作者信息

  • 1. 东南大学,MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096
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摘要

关键词

计量学/显微栅线投影相关法/三维形貌/薄膜挠度

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

孙伟,董萼良,杨福俊,何芳,秦明,何小元..显微栅线投影相关法及其在三维形貌测试中的应用[J].计量学报,2007,28(1):10-13,51,5.

基金项目

国家自然科学基金(10472026) (10472026)

计量学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-1158

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