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圆筒形反应器粉体纯化动力学分析

陶甫廷 王敬义 冯信华

广西工学院学报2005,Vol.16Issue(4):10-14,5.
广西工学院学报2005,Vol.16Issue(4):10-14,5.

圆筒形反应器粉体纯化动力学分析

Sheath kinematics analyses in cylinder chamber for particulate purity

陶甫廷 1王敬义 2冯信华2

作者信息

  • 1. 广西工学院电子信息与控制工程系,广西,柳州,545006
  • 2. 华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074
  • 折叠

摘要

关键词

粉体刻蚀/分布函数/等离子体纯化

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

陶甫廷,王敬义,冯信华..圆筒形反应器粉体纯化动力学分析[J].广西工学院学报,2005,16(4):10-14,5.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(10265002). (10265002)

广西工学院学报

1004-6410

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