半导体学报2008，Vol.29Issue(5)：1016-1021,6.
基于精简标准单元库的OPC复用技术
OPC Reuse Based on a Reduced Standard Cell Library
焦海龙 1陈岚 1李志刚 1杨清华 1叶甜春1
作者信息
- 1. 中国科学院微电子研究所,共性技术研究室,北京,100029
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摘要
关键词
精简标准单元库/OPC复用/可制造性设计/电气仿真分类
电子信息工程引用本文复制引用
焦海龙,陈岚,李志刚,杨清华,叶甜春..基于精简标准单元库的OPC复用技术[J].半导体学报,2008,29(5):1016-1021,6.
