半导体学报2005，Vol.26Issue(5)：1028-1032,5.
MEMS多层膜残余应力全场光学在线测试
An In-Situ Extracting Method for Residual Stresses of a Multilayer Film by Full-Field Optical Measurement
摘要
关键词
残余应力/多层膜/曲率半径分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
聂萌,黄庆安,李伟华..MEMS多层膜残余应力全场光学在线测试[J].半导体学报,2005,26(5):1028-1032,5.基金项目
国防预研资助项目(批准号:41308050206) （批准号:41308050206）
