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一种基于滑膜阻尼效应的新型微机械陀螺

陈永 焦继伟 熊斌 车录锋 李昕欣 王跃林

中国机械工程2004,Vol.15Issue(2):103-105,149,4.
中国机械工程2004,Vol.15Issue(2):103-105,149,4.

一种基于滑膜阻尼效应的新型微机械陀螺

A Novel Micromachined Gyroscope Based on Slide-film Damping Effects

陈永 1焦继伟 1熊斌 1车录锋 1李昕欣 1王跃林1

作者信息

  • 1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050
  • 折叠

摘要

关键词

微机械陀螺/体微机械加工/栅形电极/滑膜阻尼

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

陈永,焦继伟,熊斌,车录锋,李昕欣,王跃林..一种基于滑膜阻尼效应的新型微机械陀螺[J].中国机械工程,2004,15(2):103-105,149,4.

基金项目

国家重点基础研究发展规划资助项目(G1999033101) (G1999033101)

中国机械工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-132X

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