中国机械工程2008，Vol.19Issue(9)：1033-1036,4.
微机电系统惯性电学开关的设计与制作
A Novel Design and Fabrication of MEMS Electrical Inertia Micro-switch
摘要
关键词
非硅表面微加工/微型惯性开关/设计与制作/微机电系统(MEMS)分类
机械制造引用本文复制引用
杨卓青,丁桂甫,蔡豪刚,刘瑞,赵小林..微机电系统惯性电学开关的设计与制作[J].中国机械工程,2008,19(9):1033-1036,4.基金项目
国家863高技术研究发展计划资助项目(2006AA04Z308) （2006AA04Z308）
国家重点基础研究发展计划资助项目(A1420060154) （A1420060154）
