电子学报2008，Vol.36Issue(5)：1035-1040,6.
倾斜梳齿的MEMS电容式传感器惯性脉冲响应特性研究
Study of Inertial Pulse Response of MEMS Capacitive Accelerometer with Non-Parallel Combs
摘要
关键词
高精度微传感器/倾斜梳齿/惯性脉冲响应/MEMS分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
董林玺,颜海霞,钱忺,孙玲玲..倾斜梳齿的MEMS电容式传感器惯性脉冲响应特性研究[J].电子学报,2008,36(5):1035-1040,6.基金项目
国家自然科学基金(No.60506015) （No.60506015）
浙江省自然科学基金(No.Y107105) （No.Y107105）
