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亚微米电子束曝光机数控电流源系统

徐群 张玉林 裘培勇

电子学报Issue(11)：104,1.
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电子学报Issue(11)：104,1.

亚微米电子束曝光机数控电流源系统

徐群 1张玉林 1裘培勇1

作者信息

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摘要

关键词

电子束曝光机/数字控制/电流源

分类

信息技术与安全科学

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徐群,张玉林,裘培勇..亚微米电子束曝光机数控电流源系统[J].电子学报,1993,(11):104,1.

电子学报

OA北大核心CSCD

0372-2112

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