半导体学报2003，Vol.24Issue(z1)：104-106,3.
微纳米薄膜的悬浮腐蚀法
A Method for Suspending Ultra-Thin Film Etching
摘要
关键词
悬浮/薄膜/腐蚀分类
数理科学引用本文复制引用
陈绍凤,夏善红,宋青林,张建刚..微纳米薄膜的悬浮腐蚀法[J].半导体学报,2003,24(z1):104-106,3.基金项目
国家重大基础研究(973)(编号:G1999033102)和国家自然科学基金资助项目(批准号:60172001) （973）
