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低压等离子体增强化学汽相沉积法制备立方氮化碳薄膜

张志宏 郭怀喜 余非为 熊启华 叶明生 范湘军

物理学报Issue(6)：1047-1051,5.
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物理学报Issue(6)：1047-1051,5.

低压等离子体增强化学汽相沉积法制备立方氮化碳薄膜

张志宏 1郭怀喜 1余非为 2熊启华 2叶明生 2范湘军2

作者信息

  • 1. 武汉大学物理系
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摘要

关键词

低压/等离子体/薄膜制备/PECVD/立方氮化碳

分类

数理科学

引用本文复制引用

张志宏,郭怀喜,余非为,熊启华,叶明生,范湘军..低压等离子体增强化学汽相沉积法制备立方氮化碳薄膜[J].物理学报,1998,(6):1047-1051,5.

物理学报

OA北大核心CSCD

1000-3290

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