中国机械工程2003，Vol.14Issue(12)：1056-1059,4.
超精密装置二维F-PID振动控制系统设计
Design of Two-Dimension Fuzzy-PID Vibration Control System for Ultra-precision Device
摘要
关键词
超精密装置/仿生学/主动振动控制/模糊PID控制分类
机械制造引用本文复制引用
陈亚良,梅德庆,傅龙珠,陈子辰..超精密装置二维F-PID振动控制系统设计[J].中国机械工程,2003,14(12):1056-1059,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50075078) （50075078）
