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激光抛光化学气相沉积金刚石膜

季国顺 张永康

激光技术2003,Vol.27Issue(2):106-109,4.
激光技术2003,Vol.27Issue(2):106-109,4.

激光抛光化学气相沉积金刚石膜

Laser polishing of chemically vapor-deposited diamond films

季国顺 1张永康1

作者信息

  • 1. 江苏大学激光技术研究所,镇江,212013
  • 折叠

摘要

关键词

CVD金刚石膜/激光抛光/表面粗糙度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

季国顺,张永康..激光抛光化学气相沉积金刚石膜[J].激光技术,2003,27(2):106-109,4.

激光技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-3806

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