激光技术2003,Vol.27Issue(2):106-109,4.
激光抛光化学气相沉积金刚石膜
Laser polishing of chemically vapor-deposited diamond films
季国顺 1张永康1
作者信息
- 1. 江苏大学激光技术研究所,镇江,212013
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摘要
关键词
CVD金刚石膜/激光抛光/表面粗糙度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
季国顺,张永康..激光抛光化学气相沉积金刚石膜[J].激光技术,2003,27(2):106-109,4.