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硅中的氮氧复合物及其施主行为

刘培东 张锦心 李立本 阙端麟

半导体学报Issue(12)：1064,1.
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半导体学报Issue(12)：1064,1.

硅中的氮氧复合物及其施主行为

刘培东 1张锦心 1李立本 2阙端麟2

作者信息

  • 1. 浙江大学硅材料科学国家重点实验室
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摘要

关键词

硅/氮氧复合物/施主行为/电学性能

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘培东,张锦心,李立本,阙端麟..硅中的氮氧复合物及其施主行为[J].半导体学报,1999,(12):1064,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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