半导体学报2002，Vol.23Issue(10)：1067-1072,6.
Al/a-Si∶H复合薄膜的电导性能
Conductive Behavior of Al/a-Si∶H Bilayer Thin Films
摘要
关键词
a-Si∶H/Al诱导晶化/双层复合薄膜/多晶硅分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王瑞春,杜丕一,翁文剑,韩高荣..Al/a-Si∶H复合薄膜的电导性能[J].半导体学报,2002,23(10):1067-1072,6.基金项目
国家自然科学基金(批准号:69776004,69890230)和教育部重点基础研究基金资助项目 （批准号:69776004,69890230）
