人工晶体学报2008，Vol.37Issue(5)：1069-1072,4.
超声喷雾法制备In2S3薄膜及后续快速热处理对薄膜性能的影响
Preparation of In2Ss Thin Films by Ultrasonic Spray Pyrolysis and the Influence of Post Rapid Thermal Process
摘要
关键词
硫化铟/快速热处理/超声喷雾法分类
数理科学引用本文复制引用
陈雄飞,汪雷,杨德仁..超声喷雾法制备In2S3薄膜及后续快速热处理对薄膜性能的影响[J].人工晶体学报,2008,37(5):1069-1072,4.基金项目
国家自然科学基金(No.60544006) （No.60544006）
国家"973"计划(No.2007CB613403)资助 （No.2007CB613403）
