光学精密工程2008，Vol.16Issue(6)：1075-1081,7.
基于MEMS叠层微结构的SO2毒气传感器
Sulfur dioxide poison gas sensor based on MEMS laminated microstructure
摘要
关键词
MEMS微结构/气体传感器/SO2毒气检测分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
施云芬,施云波,刘月华,冯侨华,赵文杰,雷廷平..基于MEMS叠层微结构的SO2毒气传感器[J].光学精密工程,2008,16(6):1075-1081,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.60772019) （No.60772019）
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2006AA040101-05) （No.2006AA040101-05）
