光学精密工程2007，Vol.15Issue(7)：1077-1083,7.
基于双光栅尺的高速高精度位移测量方法
A high speed and high precision displacement measurement method using double grating scales
摘要
关键词
位移测量/双光栅尺/切换合成/FPGA分类
机械制造引用本文复制引用
节德刚,刘延杰,孙立宁,陈智超,蔡鹤皋..基于双光栅尺的高速高精度位移测量方法[J].光学精密工程,2007,15(7):1077-1083,7.基金项目
国家"973"计划资助项目(No.2003CB716202) （No.2003CB716202）
黑龙江省科技攻关计划资助项目(No.GCO5A509) （No.GCO5A509）
