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物理学报
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B1结构MoNx薄膜的制备及物理性能研究
B1结构MoNx薄膜的制备及物理性能研究
史引焕
赵柏儒
赵玉英
李林
物理学报
Issue(7)：1089-1095,7.
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物理学报
Issue(7)
：1089-1095,7.
B1结构MoNx薄膜的制备及物理性能研究
史引焕
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赵柏儒
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赵玉英
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史引焕,赵柏儒,赵玉英,李林..B1结构MoNx薄膜的制备及物理性能研究[J].物理学报,1988,(7):1089-1095,7.
物理学报
OA
CSCD
ISSN：
1000-3290
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