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微生物加工微细构件的问题分析和研究

孟珺遐

现代制造工程Issue(10)：109-111,3.
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现代制造工程Issue(10)：109-111,3.

微生物加工微细构件的问题分析和研究

孟珺遐1

作者信息

  • 1. 天津职业大学机电工程与自动化学院,天津,300402
  • 折叠

摘要

关键词

微细加工/光刻/生物刻蚀

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

孟珺遐..微生物加工微细构件的问题分析和研究[J].现代制造工程,2005,(10):109-111,3.

现代制造工程

1671-3133

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