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MEMS技术的研究现状和新进展

张帅 贾育秦

现代制造工程Issue(9)：109-112,4.
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现代制造工程Issue(9)：109-112,4.

MEMS技术的研究现状和新进展

Research status and new development of MEMS technology

张帅 1贾育秦1

作者信息

  • 1. 太原科技大学,030022
  • 折叠

摘要

关键词

MEMS/MEMS/加工技术/MEMS封装技术/MEMS检测技术

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张帅,贾育秦..MEMS技术的研究现状和新进展[J].现代制造工程,2005,(9):109-112,4.

现代制造工程

1671-3133

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