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γ-Fe2O3/硅纳米孔柱阵列湿敏元件的湿敏性能研究

王海燕 李隆玉 董永芬 李新建

传感技术学报2008,Vol.21Issue(7):1093-1096,4.
传感技术学报2008,Vol.21Issue(7):1093-1096,4.

γ-Fe2O3/硅纳米孔柱阵列湿敏元件的湿敏性能研究

Humidity Sensing Properties of γ-Fe2O3/Silicon Nanoporous Pillar Array Humidity Sensor

王海燕 1李隆玉 2董永芬 2李新建2

作者信息

  • 1. 郑州轻工业学院技术物理系,郑州,450002
  • 2. 郑州大学物理工程学院,教育部重点实验室,郑州,450052
  • 折叠

摘要

关键词

γ-Fe2O3/硅纳米孔柱阵列/湿度传感器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王海燕,李隆玉,董永芬,李新建..γ-Fe2O3/硅纳米孔柱阵列湿敏元件的湿敏性能研究[J].传感技术学报,2008,21(7):1093-1096,4.

基金项目

国家自然科学基金资助(10574112) (10574112)

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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