传感技术学报2008,Vol.21Issue(7):1093-1096,4.
γ-Fe2O3/硅纳米孔柱阵列湿敏元件的湿敏性能研究
Humidity Sensing Properties of γ-Fe2O3/Silicon Nanoporous Pillar Array Humidity Sensor
摘要
关键词
γ-Fe2O3/硅纳米孔柱阵列/湿度传感器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王海燕,李隆玉,董永芬,李新建..γ-Fe2O3/硅纳米孔柱阵列湿敏元件的湿敏性能研究[J].传感技术学报,2008,21(7):1093-1096,4.基金项目
国家自然科学基金资助(10574112) (10574112)