材料科学与工程学报2003，Vol.21Issue(1)：110-116,7.
低温PVD法制备多组分超硬薄膜研究
Study on the Preparation of Multicomponent Superhard Filmswith PVD Method at Low Temperature
彭志坚 1齐龙浩 1刘大鹏 1李文治 1苗赫濯1
作者信息
- 1. 清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084
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摘要
关键词
多组分薄膜/硬质薄膜/低温 PVD法分类
通用工业技术引用本文复制引用
彭志坚,齐龙浩,刘大鹏,李文治,苗赫濯..低温PVD法制备多组分超硬薄膜研究[J].材料科学与工程学报,2003,21(1):110-116,7.
