福州大学学报（自然科学版）2007，Vol.35Issue(z1)：11-14,4.
AlN薄膜的椭圆偏振光谱模型研究
Study on the fitting model of AlN by ellipsometric spectroscopy
摘要
关键词
色散模型/椭圆偏振光谱仪/AlN/光学常数分类
数理科学引用本文复制引用
姜伟,李书平,刘达艺,康俊勇..AlN薄膜的椭圆偏振光谱模型研究[J].福州大学学报（自然科学版）,2007,35(z1):11-14,4.基金项目
"863"计划资助项目(2006AA03A110) （2006AA03A110）
基础科研资助项目(A1420060155) （A1420060155）
国家自然科学基金资助项目(60336020) （60336020）
厦门市科技计划资助项目(3502Z20063001) （3502Z20063001）
