机械与电子Issue(12)：11-14,4.
光学元件表面污染物检测仪系统研究与开发
Research and Design of Contamination Inspection System for Optical Surface
蒋勇 1谢志江 1朱小龙1
作者信息
- 1. 重庆大学机械工程学院,重庆,400030
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摘要
关键词
检测仪/污染物/线扫描相机/三维电控平移台/疵病分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
蒋勇,谢志江,朱小龙..光学元件表面污染物检测仪系统研究与开发[J].机械与电子,2008,(12):11-14,4.
