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掺铒Al2O3薄膜的性能与制备

黄开玉 李国卿 柳翠 高景生 宋琦 王丽阁

真空电子技术Issue(6)：11-14,18,5.
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真空电子技术Issue(6)：11-14,18,5.

掺铒Al2O3薄膜的性能与制备

Properties and Preparation of the Er-Doped Al2O3 Films

黄开玉 1李国卿 1柳翠 1高景生 2宋琦 2王丽阁1

作者信息

  • 1. 大连理工大学,三束材料改性国家重点实验室,辽宁,大连,116024
  • 2. 大连理工大学,物理系,辽宁,大连,116024
  • 折叠

摘要

关键词

掺铒/Al2O3薄膜/光致发光/中频/磁控溅射

分类

数理科学

引用本文复制引用

黄开玉,李国卿,柳翠,高景生,宋琦,王丽阁..掺铒Al2O3薄膜的性能与制备[J].真空电子技术,2004,(6):11-14,18,5.

基金项目

国家863项目(2001AA338010) （2001AA338010）

真空电子技术

OACSTPCD

1002-8935

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