掺铒Al2O3薄膜的性能与制备OACSTPCD
Properties and Preparation of the Er-Doped Al2O3 Films
简述了几种Al2O3薄膜的制备方法,使用中频孪生靶非平衡磁控溅射系统制备了掺铒Al2O3薄膜,并对其进行检测,结果表明该方法制备的薄膜适于制作光纤放大器.
黄开玉;李国卿;柳翠;高景生;宋琦;王丽阁
大连理工大学,三束材料改性国家重点实验室,辽宁,大连,116024大连理工大学,三束材料改性国家重点实验室,辽宁,大连,116024大连理工大学,三束材料改性国家重点实验室,辽宁,大连,116024大连理工大学,物理系,辽宁,大连,116024大连理工大学,物理系,辽宁,大连,116024大连理工大学,三束材料改性国家重点实验室,辽宁,大连,116024
数理科学
掺铒Al2O3薄膜光致发光中频磁控溅射
《真空电子技术》 2004 (6)
11-14,18,5
国家863项目(2001AA338010)
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